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制氧設(shè)備使用物理方法將空氣中的氧氣分離出來(lái)而得到氮?dú)獾难b置被稱為制氮機(jī)，制氮機(jī)主要分為三種，分別是深冷空分法、分子篩空分法(PSA)和膜空分法。
變壓吸附法是在較高的壓力下吸附，實(shí)現(xiàn)氣體分離，在較低壓力下實(shí)現(xiàn)吸附劑再生。該法是基于分子篩對(duì)空氣中的氧、氮組分選擇性吸附而使空氣分離獲得氧氣。當(dāng)空氣經(jīng)過(guò)壓縮，通過(guò)裝有分子篩的吸附塔時(shí)，氮?dú)夥肿觾?yōu)先被吸附，氧分子留在氣相中而成為氧氣。吸附達(dá)到平衡時(shí)，利用減壓或抽真空將分子篩表面所吸附的氮分子驅(qū)除，恢復(fù)分子篩的吸附能力。為了連續(xù)提供氧氣，裝置通常設(shè)置兩個(gè)或兩個(gè)以上的吸附塔，一個(gè)塔吸附產(chǎn)氧，另一個(gè)塔解吸，以達(dá)到連續(xù)產(chǎn)氧的目的。
